[发明专利]表面检查设备及方法

摘要

公开了表面检查设备和方法以及制造显示装置的方法。一方面，表面检查方法包括将物体放置在工作台上，该工作台包括相对于一平面以预定角度倾斜的顶表面，该平面具有第一方向和与第一方向交叉的第二方向。所述方法还包括经由表面检查单元照射光到物体上。所述方法还包括：获得通过成像装置捕获的包括第一干涉条纹的第一图像；在第一方向和第二方向中的至少一个上移动表面检查单元和工作台中的至少一个；获得通过成像装置捕获的包括第二干涉条纹的第二图像；以及在第三方向上移动表面检查单元以修正第二干涉条纹相对于第一干涉条纹的移动。

主权项

一种用于显示装置的表面检查方法，包括：将物体放置在工作台上，所述工作台包括相对于一平面以预定角度倾斜的顶表面，所述平面具有第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向；经由表面检查单元照射光到所述物体上，所述表面检查单元包括干涉仪和成像装置，所述干涉仪具有在与所述平面交叉的第三方向上对准的光轴，所述成像装置接收通过所述干涉仪形成的干涉光；获得通过所述成像装置捕获的包括第一干涉条纹的第一图像；在所述第一方向和所述第二方向中的至少一个上移动所述表面检查单元和所述工作台中的至少一个；获得通过所述成像装置捕获的包括第二干涉条纹的第二图像；以及在所述第三方向上移动所述表面检查单元，从而修正所述第二干涉条纹的相对于所述第一干涉条纹的移动。