[发明专利]样品分析系统以及样品分析方法

摘要

本发明公开一种样品分析系统以及样品分析方法，该样品分析系统具备：样品台；样品温度调控单元，其包括样品温度测试装置、样品温度调节装置、和样品温度控制装置；气体供给单元，其包括气体储罐、减压装置、混合气体制备装置、和气流喷出装置；以及光学分析单元，其包括偏光仪和分析仪。所涉及的样品分析方法具有：样品温度调控步骤，通过所述样品温度调控单元将置于所述样品台上的样品的温度调节控制为某一恒定温度；混合气体制备步骤，使来自所述气体储罐的气体经过减压装置后，在所述混合气体制备装置形成混合气体；气体喷出步骤，利用所述气流喷出装置，将混合气体以一定的流量喷射到样品表面；光学分析步骤，利用所述偏光仪和所述分析仪，采用椭圆偏光法对所述样品进行分析。

主权项

1.一种样品分析系统，其特征在于，不需要腔室和真空，并且具备：样品台；样品温度调控单元，其包括样品温度测试装置、样品温度调节装置、和样品温度控制装置；气体供给单元，其包括气体储罐、减压装置、混合气体制备装置、和气流喷出装置，将混合气体以一定的流量喷射到样品表面；以及光学分析单元，其包括偏光仪和分析仪，所述混合气体制备装置包括起泡器、第一流量控制器、第二流量控制器、起泡器温度调控单元、以及混合气体温度调控单元，所述起泡器温度调控单元包括起泡器温度测试装置、起泡器温度调节装置和起泡器温度控制装置，所述混合气体温度调控单元包括混合气体温度测试装置、混合气体温度调节装置和混合气体温度控制装置。