[发明专利]一种蒸镀机在审
| 申请号： | 201510727216.2 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN105296932A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 沐俊应 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀机，所述蒸镀机包括：蒸发源组，包括至少两个蒸发源；气体通道，包括公共气体通道和至少两个子气体通道，阀门组，包括公共阀门和至少两个子阀门，每个所述子气体通道对应设置一所述子阀门，所述公共阀门用于控制所述公共气体通道的导通或者不导通；所述子阀门用于控制对应的所述子气体通道的导通或者不导通。本发明的蒸镀机，增加至少一个蒸发源，选定其中一个进行蒸镀，当蒸镀中断时，将该蒸镀的蒸发源蒸发的材料沉积在其余蒸发源中，在恢复蒸镀时，能够维持原有速率的同时，降低能源损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀机 | ||
【主权项】：
一种蒸镀机，其特征在于，包括：蒸发源组，包括至少两个蒸发源，所述蒸发源具有一腔体，所述蒸发源用于对其腔体内的蒸发材料进行蒸发，以产生蒸发气体；气体通道，包括公共气体通道和至少两个子气体通道，所述公共气体通道用于将所述蒸发源产生的蒸发气体导出到基板表面；每个所述蒸发源对应设置一所述子气体通道；所述子气体通道的一端与所述公共气体通道连通；所述子气体通道的另一端与对应的所述蒸发源连通；阀门组，包括公共阀门和至少两个子阀门，每个所述子气体通道对应设置一所述子阀门，所述公共阀门用于控制所述公共气体通道的导通或者不导通；所述子阀门用于控制对应的所述子气体通道的导通或者不导通。
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