[发明专利]一种弹光调制和电光调制级联的相位调制型椭偏仪

摘要

本发明涉及椭偏参数分析的技术领域，更具体而言，涉及一种弹光调制和电光调制级联的相位调制型椭偏仪，实现了一种高精度、高灵敏度、高重复性、高速率和无需机械调节的椭偏测量；该椭偏仪是基于弹光调制和电光调制的组合偏振调制技术和数字锁相处理信号技术实现的；检测光源经缩束后，依次通过起偏器、待测样品、电光调制器、弹光调制器，最后经检偏器出射到光电探测器，检测信号经FPGA数字锁相得到弹光调制倍频项数据，并传入计算机完成待测样品的椭偏参数处理，存储和显示；该椭偏仪测量速率快、工作稳定，便于工业化集成，为椭偏参数的测量及相关应用领域提供了新理论和新方法。

主权项

一种弹光调制和电光调制级联的相位调制型椭偏仪，其特征在于：包括检测光源(1)、缩束透镜组(2)、起偏器(3)、待测样品(4)、电光调制器(5)、弹光调制器(6)、检偏器(7)、光电探测器(8)、前置放大器(9)、信号采集和数字锁相模块(10)和计算机PC(11)；所述检测光源(1)、缩束透镜组(2)和起偏器(3)构成入射臂，所述电光调制器(5)、弹光调制器(6)、检偏器(7)和光电探测器(8)构成出射臂，所述入射臂可以选择调节入射光入射待测样品(4)的入射角，出射臂对应调节；所述信号采集和数字锁相模块(10)包括FPGA和AD采集单元，所述光电探测器(8)经前置放大器(9)与AD采集单元连接；所述电光调制器(5)包括电光晶体和直流高压驱动电路，所述电光晶体通过直流高压驱动电路与FPGA连接；所述弹光调制器(6)包括弹光晶体和LC谐振高压驱动电路，所述弹光晶体通过LC谐振高压驱动电路与FPGA连接。