[发明专利]加工装置有效
| 申请号： | 201510607519.0 | 申请日： | 2015-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN105458912B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 根本清治 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00;B25J9/08;B24B7/22 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;金玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供加工装置。在晶片以倾斜状态收纳于料盒内的情况下，机械手能够识别晶片并将其搬出，而不会使晶片破损。使机械手(51)进入到料盒(4a)内，解除控制部对反转电动机的控制，使机械手(51)能够自由旋转而向接近晶片(W4)的方向移动，在机械手(51)与晶片(W4)接触而由编码器识别到的角度发生变化时，判断为收纳于料盒(4a)内的晶片(W4)倾斜。通过检测机械手(51)的旋转而能够检测晶片(W4)的倾斜，因此能够防止由于机械手(51)与晶片(W4)冲突而使得晶片(W4)破损。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，其具有：机器人，其将收纳于料盒内的晶片从料盒中搬出；以及加工单元，其对由该机器人搬出的晶片进行加工，该机器人具有：保持晶片的机械手；使该机械手保持的晶片的正反面反转的反转单元；以及使该机械手移动至规定的位置处的移动单元，该反转单元具有：反转轴，其是使该机械手保持的晶片的正反面反转时的旋转轴；与该反转轴连结的反转电动机；对该反转电动机进行驱动的控制部；以及与该反转轴连结而检测该反转轴的旋转角度的编码器，该加工装置通过该移动单元使该机械手进入到该料盒内，解除该控制部对该反转电动机的控制，使该机械手能够自由旋转而向接近晶片的方向移动，并且，该加工装置具有判断部，在该机械手与晶片接触而由该编码器识别到的角度发生变化时，该判断部判断为收纳于该料盒内的晶片倾斜。
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