[发明专利]一种用于ITO膜刻蚀的工艺有效
| 申请号： | 201510539374.5 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN105087009B | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 全策;全振 | 申请（专利权）人： | 东莞市钜升金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00 |
| 代理公司： | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙)11491 | 代理人： | 姜彦 |
| 地址： | 523430 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于ITO膜刻蚀的工艺，包括向表面为ITO膜构成的板材表面均匀涂覆一层感光胶膜，将涂好感光胶膜的板材烘干冷却至室温，然后对板材进行曝光和显影处理，最后利用刻蚀液对板材进行刻蚀处理，蚀刻结束后，进行清洗和干燥。刻蚀液由1、2‑乙二磺酸，三氟甲基磺酸，亚乙基二胺四甲叉膦酸钠，草酸和蒸馏水组成。上述原料中三氟甲基磺酸是最强的有机酸，通过适量比例的各种酸混合搭配提高刻蚀速率，亚乙基二胺四甲叉膦酸钠具有极强的络合作用，可有效稳定络合各金属离子，1、2‑乙二磺酸和三氟甲基磺酸可有效解决金属离子易于与草酸沉淀形成残渣的问题，同时，该刻蚀液在刻蚀过程中不会产生气泡，大大提高蚀刻精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 ito 刻蚀 工艺 | ||
【主权项】：
一种用于ITO膜刻蚀的工艺，包括如下操作：向表面为ITO膜构成的板材表面均匀涂覆一层感光胶膜，将涂好感光胶膜的板材烘干冷却至室温，然后对板材进行曝光和显影处理，最后利用刻蚀液对板材进行刻蚀处理，蚀刻结束后，进行清洗和干燥；刻蚀液组成为：2重量份的1,2‑乙二磺酸，0.4重量份的三氟甲基磺酸，2.8重量份的亚乙基二胺四甲叉膦酸钠，6重量份的草酸，88.8重量份的蒸馏水。
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