[发明专利]一种探针卡清针方法及清针系统在审
| 申请号： | 201510369466.3 | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN104931543A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 沈茜;娄晓祺 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探针卡清针方法及清针系统，首先获取探针卡上的探针接触电阻的测试参数；接着预设探针卡上的探针接触电阻的标准阈值；最后将所述探针卡上的探针接触电阻的测试参数与所述标准阈值进行对比，若测试参数超出标准阈值，则对探针卡上的探针进行清理。本发明提供的一种探针卡清针方法及清针系统，在测试过程中自动的对探针卡的探针状况进行判断，并对其进行清洁，从而减少测试过程中因为探针卡引起的量测问题，进而减少重测率，同时也相应的提升了探针卡的使用效率，降低晶圆的测试成本，提高了测试的可靠性、准确性和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 卡清针 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种探针卡清针方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S01、获取探针卡上的探针接触电阻的测试参数；步骤S02、预设探针卡上的探针接触电阻的标准阈值；步骤S03、将所述探针卡上的探针接触电阻的测试参数与所述标准阈值进行对比；若所述探针卡上的探针接触电阻的测试参数在标准阈值范围内，则继续测试，若所述探针卡上的探针接触电阻的测试参数超过标准阈值范围，则对所述探针卡的探针进行清针。
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