[发明专利]涂布系统和涂布方法

摘要

本发明公开了一种涂布系统和涂布方法。该涂布系统包括涂布设备、检测装置和调节装置；所述涂布设备，用于以设定速度将涂布材料涂布于基板上；所述检测装置，用于在所述涂布设备涂布时检测所述涂布材料的测量点的膜厚，并将检测出的膜厚发送给所述调节装置；所述调节装置，用于根据所述膜厚生成设定速度，并将所述设定速度发送给所述涂布设备。本发明提供的涂布系统和涂布方法中，检测装置在涂布设备涂布时检测涂布材料的测量点的膜厚，调节装置根据膜厚生成设定速度，涂布设备根据设定速度将涂布材料涂布于基板上，从而实现了实时调整膜厚。

主权项

一种涂布系统，其特征在于，包括：涂布设备、检测装置和调节装置；所述涂布设备，用于以设定速度将涂布材料涂布于基板上；所述检测装置，用于在所述涂布设备涂布时检测所述涂布材料的测量点的膜厚，并将检测出的膜厚发送给所述调节装置；所述调节装置，用于根据所述膜厚生成设定速度，并将所述设定速度发送给所述涂布设备；所述检测装置包括光源、发射端、接收端和信号处理模块，所述发射端和所述接收端分别位于基板的两侧且相对设置；所述光源，用于向所述发射端提供照射光；所述发射端，用于向所述基板发射所述照射光以使所述照射光透过所述基板和所述涂布材料；所述接收端，用于接收透过所述基板和所述涂布材料的照射光，并将照射光发送至所述信号处理模块；所述信号处理模块，用于根据接收到的照射光生成所述膜厚；所述调节装置包括：判断模块和第二计算模块；所述判断模块，用于判断|(T1‑T2)/T1|是否小于或者等于设定差值；所述第二计算模块，用于若所述判断模块判断出|(T1‑T2)/T1|大于设定差值时，根据公式[1+(T1‑T2)/T1]V计算出设定速度，并将设定速度发送至所述涂布设备；其中，T1为标准膜厚，T2为检测出的膜厚，V为原始速度。