[发明专利]铜锌锡硫溅射靶及其制备方法在审
| 申请号： | 201510277211.4 | 申请日： | 2015-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN104846342A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 庄大明;赵明;孙汝军;余新平;张宁;郭力;高泽栋;魏要伟;欧阳良琦 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;B22F3/16 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人： | 哈达 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种贫铜富锌的铜锌锡硫溅射靶，该铜锌锡硫溅射靶具有锌黄锡矿结构，含有Cu、Zn、Sn及S元素，该四种元素的原子比满足Cu/(Zn+Sn)<1且Zn/Sn>1。本发明还涉及一种铜锌锡硫溅射靶的制备方法，包括：1)机械合金化：将硫化亚铜粉末、硫化锌粉末和二硫化锡粉末按摩尔比为(0.5-1.3):(1-1.6):(0.4-1)，且不含1:1:1比例，在液态介质中进行球磨混合，再经烘干获得混合粉末；以及2)将该混合粉末进行压制成型和烧结，得到具有贫铜富锌成分的铜锌锡硫溅射靶。 | ||
| 搜索关键词： | 铜锌锡硫 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铜锌锡硫溅射靶，其特征在于，该铜锌锡硫溅射靶具有锌黄锡矿结构，含有Cu、Zn、Sn及S元素，该四种元素的原子比满足Cu/(Zn+Sn)<1且 Zn/Sn>1。
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