[发明专利]边缘曝光装置和方法

摘要

本发明公开了一种边缘曝光装置和方法，该装置包括：预对准部件，包括：旋转台，用于控制所述旋转台X向移动的X向运动机构、用于控制所述旋转台Y向移动的Y向运动机构和用于图像采集的检测装置；曝光部件，包括：曝光镜头和曝光控制器，所述曝光镜头位置固定，所述曝光控制器控制所述曝光镜头进行曝光动作。本发明的预对准部件可实现X向、Y向的自动切换，从而完全可以满足在硅片不同位置曝光的位置切换需求，同时曝光部件为了确保曝光性能的稳定，曝光镜头静止不动，直线切换过程通过预对准部件进行。

主权项

1.一种边缘曝光方法，其特征在于，包括：上片至旋转台；检测装置检测硅片的偏心量，X向、Y向运动机构完成对硅片的偏心补偿，旋转台调节硅片方向；X向、Y向运动机构将硅片带动到曝光位置处；曝光部件计算曝光强度、曝光速度和曝光时间后，执行曝光动作；曝光结束，X向、Y向运动机构将硅片带到下片位；其中，执行曝光动作时，采取匀速运动阶段曝光策略；所述执行曝光动作包括：设定硅片曝光的起始点和结束点；硅片进入匀速运动；在曝光控制器开启时间提前量时开启曝光控制器，使曝光镜头在硅片起始点处开始曝光；在曝光控制器关闭时间提前量时关闭曝光控制器，使曝光镜头在硅片结束点处停止曝光。