[发明专利]一种小片OGS高效激光蚀刻装置

摘要

本发明公开了一种小片OGS高效激光蚀刻装置，包括工件安置机构、双CCD抓标机构和扫描蚀刻机构，工件安置机构包括光学平台、DD马达和吸附平台；在一个工件蚀刻加工的同时，吸附平台上的另一个工位可以同时完成上料操作；DD马达带动吸附平台旋转180°，将下一片工件传送至激光蚀刻范围内，同时将已加工好的工件传送至上下料工位。本发明既消除了抓标运动所需时间，大幅提升生产效率，同时提高了人工利用率，能完成普通激光蚀刻机近两倍的产出，亦无需使用XY轴运动平台，降低了设备成本。

主权项

一种小片OGS高效激光蚀刻装置，包括工件安置机构、双CCD抓标机构和扫描蚀刻机构，其特征在于：所述工件安置机构包括光学平台、底座设置在光学平台中心处的DD马达以及中心处固定在DD马达旋转端的吸附平台；所述双CCD抓标机构包括X轴位移台、Y轴位移台、Z轴位移台、两台CCD相机、两个同轴光以及两个棱镜，所述Y轴位移台由两个对称结构组成，且分别固定在X轴位移台两端，Z轴位移台同样由两个对称结构组成，且分别固定在两Y轴位移台近吸附平台一端，所述两个同轴光分别固定在Z轴位移台上并与X轴位移台平行，所述两台CCD相机固定于两同轴光的远吸附平台一侧，所述两棱镜固定于两同轴光的近吸附平台一侧；所述扫描蚀刻机构包括激光器、振镜和透镜，所述激光器与振镜的入光口连接，透镜水平设置在振镜扫描口下方中心处。