[发明专利]宽谱段夏克‑哈特曼波前传感器绝对标定装置及方法有效
| 申请号： | 201510053665.3 | 申请日： | 2015-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN104677507B | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 段亚轩;陈永权;田留德;龙江波;赵建科;李坤;张昊苏;赵怀学;谢来运;潘亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 姚敏杰 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种夏克‑哈特曼波前传感器绝对标定装置及方法，该装置包括会聚镜、点衍射板、锥孔板、高精度平移台、采集与控制计算机、光轴定位模块以及单色仪；锥孔板可拆卸的固定在待标定的夏克‑哈特曼波前传感器的前端；锥孔板的锥孔中心与待标定的夏克‑哈特曼波前传感器的靶面中心重合；采集与控制计算机分别与待标定的夏克‑哈特曼波前传感器以及高精度平移台相连；会聚镜设置在单色仪的出射光路上；会聚镜、点衍射板以及锥孔板依次处于同一光轴上；光轴定位模块置于点衍射板与锥孔板之间。本发明具有可实现宽谱段夏克‑哈特曼波前传感器系统误差和物理参数的绝对标定以及可提高系统标定精度的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 宽谱段夏克 哈特曼波前 传感器 绝对 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种宽谱段夏克‑哈特曼波前传感器绝对标定装置，其特征在于：所述宽谱段夏克‑哈特曼波前传感器绝对标定装置包括会聚镜、点衍射板、锥孔板、高精度平移台、采集与控制计算机、光轴定位模块以及可输出不同波长单色光的单色仪；所述锥孔板可拆卸的固定在待标定的夏克‑哈特曼波前传感器的前端；所述锥孔板的锥孔中心与待标定的夏克‑哈特曼波前传感器的靶面中心重合；待标定的夏克‑哈特曼波前传感器固定在高精度平移台上；所述采集与控制计算机分别与待标定的夏克‑哈特曼波前传感器以及高精度平移台相连；所述会聚镜设置在单色仪的出射光路上；所述会聚镜、点衍射板以及锥孔板依次处于同一光轴上；所述光轴定位模块置于点衍射板与锥孔板之间。
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