[发明专利]数据修正装置、绘图装置、数据修正方法和绘图方法

摘要

提供数据修正装置、绘图装置、数据修正方法和绘图方法。在绘图装置中，获取基板上多个记号即记号集合的测定位置。基于除记号集合中所选的关注记号群之外的剩余记号群的测定位置和设计位置，通过针对多个修正方式分别修正关注记号群的设计位置，通过各修正方式获取关注记号群修正位置。通过针对各修正方式，求出显示表示关注记号群的修正位置和测定位置间偏差的目标评估值。与各修正方式相关地，基于获取的各关注记号群的记号评估值，求出表示修正方式的修正精度的修正方式评价值。比较多个修正方式的修正方式评估值，选择修正精度最高的修正方式，通过所选择的修正方式修正绘图数据。在绘图装置中，可从多个修正方式中自动选择合适的修正方式。

主权项

一种数据修正装置，基于基板上的记号位置信息，对要在基板上绘制的图像的绘图数据进行修正，其特征在于，包括：设计位置存储部，其存储记号集合的设计位置，所述记号集合是指，位于基板上并且用于修正绘图数据的多个记号，测定位置取得部，其获取所述记号集合的测定位置，记号评估值计算部，其基于除了从所述记号集合中选出的关注记号群之外的剩余记号群的测定位置和设计位置，通过算法相异的多个修正方式，分别对所述关注记号群的设计位置进行修正，来获取修正位置，针对各修正方式求出记号评估值，所述记号评估值表示所述关注记号群的所述修正位置和测定位置之间的偏差，修正方式评估值计算部，其以与所述各修正方式相关的方式，基于通过所述记号评估值计算部针对至少一种关注记号群求出的记号评估值，求出表示所述各修正方式的修正精度的修正方式评估值，修正方式选择部，其对多个所述修正方式的修正方式评估值进行比较，选择修正精度最高的修正方式，绘图数据修正部，其利用由所述修正方式选择部选择的所述修正方式，来修正所述绘图数据。