[发明专利]坩埚组合及利用该坩埚组合制造硅晶铸锭的方法有效
| 申请号： | 201510012100.0 | 申请日： | 2015-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN104790031B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 余文怀;庄国伟;周鸿升;杨瑜民;许松林;李依晴;徐文庆 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 215316 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种坩埚组合以及利用该坩埚组合制造硅晶铸锭的方法。本发明的坩埚组合包含坩埚主体以及纤维编织体。纤维编织体由多根碳纤维所构成，并且安置于坩埚主体的底部上。纤维编织体具有多个本质的孔洞，且成无序排列。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 组合 利用 制造 铸锭 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造一硅晶铸锭的方法，其特征在于，包含下列步骤：制备一种坩埚组合，所述坩埚组合包含：一坩埚主体，具有一底部，以及一第一纤维编织体，由多根第一碳纤维所构成，且安置于所述坩埚主体的所述底部上，所述第一纤维编织体具有多个本质的第一孔洞，且成无序排列；装一硅原料至所述坩埚组合內，且放置在所述第一纤维编织体上；加热所述坩埚组合，直至所述硅原料全部熔化成一硅熔汤；基于一方向性凝固工艺冷却所述坩埚组合，致使所述硅熔汤在所述第一纤维编织体的多个第一孔洞处成核多个硅晶粒且沿所述坩埚组合的一垂直方向成长；以及继续基于所述方向性凝固工艺冷却所述坩埚组合，直至所述硅熔湯完全凝固成所述硅晶铸锭，其中所述第一纤维编织体并且协助所述硅晶铸锭脫模。
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