[发明专利]以纳米级精确度可程序化的沉积用户自定义外形的薄膜

摘要

一种用于可程序化的沉积用户自定义外形的薄膜的基于喷墨的方法。通过多喷头将前体液体有机材料的液滴分配在基底上的多个位置处。使因背侧压力而弯曲的基顶降落，从而使所述基顶的正面进行与所述液滴进行第一接触，从而产生向外扩展的液体前沿，所述液体前沿与多个所述液滴融合以形成捕获在所述基底与所述基顶之间的邻接膜。然后，在一段时间之后，发生所述基顶、所述邻接膜和所述基底的非平衡过渡状态。然后，使所述邻接膜固化以将其交联成聚合物。然后，将所述基顶与所述聚合物分离从而将聚合物膜保留在所述基底上。通过这种方式，非均匀膜可以在无明显材料浪费的情况下以廉价方式而形成。

主权项

一种用于沉积薄膜的方法，所述方法包括：通过一组喷墨喷嘴，将前体液体有机材料的液滴分配在基底上的多个位置处；使基顶降落，从而使所述液滴形成被捕获在所述基底与所述基顶之间的邻接膜；选择所述基顶的参数，以使达到所述基顶、所述邻接膜以及所述基底的平衡状态的时间被延长，从而能够捕获所述基顶、所述邻接膜和所述基底的非平衡过渡状态；使所述邻接膜固化以将其凝固成固体；以及将所述基顶与所述固体分离，从而将聚合物膜保留在所述基底上。