[发明专利]在基板、研磨轮和覆盖物中形成凹槽的方法有效
申请号: | 201480037246.4 | 申请日: | 2014-06-04 |
公开(公告)号: | CN105339135B | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | B·A·斯文特克;M·L·尼尔森;D·G·贝尔德;K·R·布雷舍 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | B24B13/015 | 分类号: | B24B13/015;B24B19/03;B24B21/00;B24D5/06;B24D5/12;C03B11/08;C03C19/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 牛海军 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种在基板的表面中形成凹槽的方法,包括提供包括沿支撑构件的周向表面设置的结构化磨料构件的磨料制品,使得所述结构化磨料层与基板的表面摩擦接触,相对于所述基板的所述表面纵向推进所述结构化磨料层;以及使所述磨料制品或所述基板中的至少一个相对于另一个围绕垂直于所述基板的所述表面的旋转轴线旋转,使得所述结构化磨料层保持与所述基板的所述表面接触并且研磨所述基板的所述表面。该结构化磨料构件包括结构化磨料层,该结构化述磨料层包含固定到背衬的成形磨料复合物,其中所述背衬邻近所述支撑构件。该成形磨料复合物包括被保持在粘合剂材料中的磨料颗粒。本公开还提供研磨轮,该研磨轮包括设置在支撑轮周向表面上的结构化磨料构件、以及包括邻接圆柱形通道的球形凹入凹槽的显示器覆盖物。 | ||
搜索关键词: | 研磨 覆盖 形成 凹槽 方法 | ||
【主权项】:
一种在基板的表面中形成凹槽的方法,所述方法包括:提供包括沿支撑构件的周向表面设置的结构化磨料构件的磨料制品,其中所述结构化磨料构件包括结构化磨料层,所述结构化磨料层包括固定到背衬的成形磨料复合物,其中所述背衬邻近所述支撑构件,并且其中所述成形磨料复合物包括被保持在粘合剂材料中的磨料颗粒;使所述结构化磨料层与所述基板的所述表面摩擦接触;相对于所述基板的所述表面纵向推进所述结构化磨料层;以及围绕垂直于所述基板的所述表面的旋转轴线旋转所述基板,使得所述结构化磨料层保持与所述基板的所述表面接触并研磨所述基板的所述表面,从而在其中形成所述凹槽,其中在不存在添加的松散磨料颗粒或磨料浆液时进行所述方法。
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