[发明专利]用于均匀化激光束的设备

摘要

本发明涉及一种用于均匀化激光束(100)的设备，包括具有第一透镜阵列的第一基板(1)和具有第二透镜阵列的第二基板(2)，第一透镜阵列具有多个柱面透镜器件(3、3')，第二透镜阵列在光束路径中设置在第一基板(1)下游并且具有多个柱面透镜器件(4、4')，为第一透镜阵列的每个柱面透镜器件(3、3')配置第二透镜阵列的正好一个柱面透镜器件(4、4')，并且第一透镜阵列的柱面透镜器件(3、3')的中心距(p1)大于第二透镜阵列的柱面透镜器件(4、4')的中心距(p2)，第一透镜阵列的中心柱面透镜器件(3')的透镜顶点与第二透镜阵列的与之相配的中心柱面透镜器件(4')的透镜顶点对齐，并且第二透镜阵列的其余柱面透镜器件(4)的透镜顶点和第一透镜阵列的与之相配的柱面透镜器件(3)的透镜顶点从第二透镜阵列的中点起具有向外渐增的顶点偏移。

主权项

一种用于均匀化激光束(100)的设备，包括：－第一基板(1)，该第一基板具有第一光学功能边界面以及第二光学功能边界面，激光束(100)能够经过所述第一光学功能边界面射入第一基板(1)中并且能够经过所述第二光学功能边界面射出第一基板(1)，并且这两个光学功能边界面中的至少一个光学功能边界面具有多个凸形柱面透镜器件(3、3')，这些柱面透镜器件沿第一方向并列设置并且具有彼此平行定向的柱面轴线并且通过这种方式构成第一透镜阵列，其中，相邻的柱面透镜器件(3、3')具有相同的中心距(p1)并且这些柱面透镜器件(3、3')构造为使得它们能够将激光束(100)分解成多个分光束(101、101')；－第二基板(2)，该第二基板沿光束路径设置在第一基板(1)下游，该第二基板具有第一光学功能边界面以及第二光学功能边界面，所述分光束(101)能够经过该第二基板的第一光学功能边界面射入第二基板(2)中并且能够经过该第二基板的第二光学功能边界面射出第二基板(2)，并且这两个光学功能边界面中的至少一个光学功能边界面具有多个凸形柱面透镜器件(4、4')，这些柱面透镜器件沿第一方向并列设置、具有彼此平行定向的柱面轴线并且通过这种方式构成第二透镜阵列，在此这些柱面透镜器件(4、4')能够折射所述分光束(101、101')并且使其转入工作面(6)中，并且相邻的柱面透镜器件(4、4')具有相同的中心距(p2)；其中，为所述第一透镜阵列的每个柱面透镜器件(3、3')配置所述第二透镜阵列的正好一个柱面透镜器件(4、4')；其特征在于，所述第一透镜阵列的柱面透镜器件(3、3')的中心距(p1)大于所述第二透镜阵列的柱面透镜器件(4、4')的中心距(p2)，所述第一透镜阵列的中心柱面透镜器件(3')的透镜顶点与所述第二透镜阵列的与之相配的中心柱面透镜器件(4')的透镜顶点对齐，并且所述第二透镜阵列的其余柱面透镜器件(4)的透镜顶点和所述第一透镜阵列的与之相配的柱面透镜器件(3)的透镜顶点从所述第二透镜阵列的中心起具有向外渐增的顶点偏移，使得在所述工作面(6)中能够至少在第一方向上获得均匀的强度分布，对于所述第一和第二透镜阵列的柱面透镜器件(3、3'、4、4')的中心距之比p1/p2适用的是1<p1/p2≤1.1。