[发明专利]LED元件及其制造方法

摘要

本发明提供可以进一步提高光取出效率的LED元件及其制造方法。在LED元件中，蓝宝石衬底的表面形成具有比从发光层发出的光的光学波长的2倍大且比相干长度小的周期的多个凹部或凸部的垂直化蛾眼面，通过垂直化蛾眼面的反射及透射，以偏向与蓝宝石衬底和半导体层的界面垂直的方向的方式调整了强度分布的光在透射蛾眼面抑制菲涅耳反射的状态下向元件外部射出。

主权项

一种倒装片型的LED元件，具备：蓝宝石衬底；形成于所述蓝宝石衬底的表面上的含有发光层的半导体层叠部；形成于所述半导体层叠部上的反射部，所述蓝宝石衬底的表面形成垂直化蛾眼面，该垂直化蛾眼面具有比从所述发光层发出的光的光学波长的2倍大且比相干长度小的周期的多个凹部或凸部，所述蓝宝石衬底的背面形成透射蛾眼面，该透射蛾眼面具有比从所述发光层发出的光的光学波长的2倍小的周期的凹部或凸部，所述垂直化蛾眼面构成为，反射及透射从所述半导体层叠部侧向该垂直化蛾眼面入射的光，在超过临界角的角度域中，与在所述半导体层叠部侧入射到该垂直化蛾眼面的光的强度分布比较，在所述半导体层叠部侧从该垂直化蛾眼面通过反射射出的光的强度分布偏向与所述半导体层叠部和所述蓝宝石衬底的界面垂直的方向，并且，在超过临界角的角度域，与在所述半导体层叠部侧入射到该垂直化蛾眼面的光的强度分布相比，在所述蓝宝石衬底侧从该垂直化蛾眼面通过透射射出的光的强度分布偏向与所述界面垂直的方向，通过所述垂直化蛾眼面的反射及透射，以偏向与所述界面垂直的方向的方式调整了强度分布的光在通过所述透射蛾眼面抑制菲涅耳反射的状态下向元件外部射出。