[实用新型]一种掩模板框架对位孔结构有效
| 申请号： | 201420816686.7 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN204434718U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 王红英;吴俊雄;冉应刚;柯贤军;苏君海;黄亚清;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 任海燕 |
| 地址： | 516006 广东省惠州市仲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种掩模板框架对位孔结构，自上而下包括掩模板对位孔与掩模板框架对位孔，所述掩模板对位孔的孔径小于掩模板框架对位孔的孔径，掩模板框架对位孔的底部为粗糙面，掩模板框架对位孔的底部的形状为锥形面或者圆弧形面；所述掩模板框架对位孔结构还包括设置在掩模板对位孔上方的照射光源。本实用新型提供一种掩模板框架对位孔结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 框架 对位 结构 | ||
【主权项】：
一种掩模板框架对位孔结构，位于掩模板和掩模板框架上，其特征在于，自上而下包括掩模板对位孔与掩模板框架对位孔，所述掩模板对位孔的孔径小于掩模板框架对位孔的孔径，掩模板框架对位孔的底部为粗糙面，掩模板框架对位孔的底部的形状为锥形面或者圆弧形面。
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