[实用新型]一种用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统

摘要

一种用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，包括制绒槽，制绒槽内设有至少三个反应道，反应道内由上往下依次设有位于制绒槽内药液液位下方的压轮与滚轮，硅片在滚轮和压轮之间移动并制绒；还包括储液槽，储液槽通过输液管将储液槽内的药液输送到制绒槽内，位于制绒槽内的输液管上设有若干喷孔，制绒槽通过溢流管以及回流管将制绒槽内的药液输送到储液槽内，储液槽内的药液通过热交换毛细管与一冰机形成热交换，位于制绒槽两端的反应道之间的其他每条反应道上各设有一喷淋装置。其有益效果：有利于降低制绒槽内中间的反应道的温度，从而使制绒槽内的温度均匀，使在制绒槽内进行制绒过程中的硅片减薄量均匀，颜色分布均匀，成品率高。

主权项

一种用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，包括制绒槽，所述制绒槽内设有反应道，所述反应道内由上往下依次设有位于制绒槽内药液液位下方的压轮与滚轮，硅片在滚轮和压轮之间移动并进行制绒；还包括一储液槽，所述储液槽通过一输液管将储液槽内的药液输送到所述制绒槽内，位于所述制绒槽内的输液管上设有若干第一喷孔，所述制绒槽通过溢流管以及回流管将所述制绒槽内的药液输送到储液槽内，所述储液槽内的药液通过热交换毛细管与一冰机形成热交换，其特征在于：所述反应道至少有三个，位于制绒槽两端的反应道之间的其他每条反应道上各设有一喷淋装置。