[实用新型]一种干刻机有效
| 申请号： | 201420727801.3 | 申请日： | 2014-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN204216014U | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 徐岩 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 刘付兴 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种干刻机，所述干刻机包括设置于固定板上的铝框和石英板，所述石英板嵌设于所述铝框内部，所述铝框通过电源线外接直流电源。所述电源线安装于铝框的四周或铝框的内部；所述直流电源由设备的电源箱提供。本实用新型提供的干刻机，通过将铝框连接直流电源，使铝框在通电后产生静电，进而对沉积物产生静电吸附作用，使沉积物不容易脱落。所述直流电源能够长期供电使用，直到下一个保养周期为止。本实用新型提供的干刻机不仅延长了保养周期，而且在使用过程中可以减少人力成本及部件的清洗成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干刻机 | ||
【主权项】：
一种干刻机，其特征在于，包括固定板和电源线，所述固定板上设有铝框和石英板，所述石英板嵌设于所述铝框内部，所述铝框通过所述电源线外接直流电源。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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