[实用新型]用于滤光片镀膜的装置有效
| 申请号： | 201420720721.5 | 申请日： | 2014-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN204224692U | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 王喜昌 | 申请（专利权）人： | 苏州鼎旺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215129 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于滤光片镀膜的装置，其包括一外筒和一内筒，所述内筒位于所述外筒内，所述外筒与所述内筒同轴设置，所述外筒与所述内筒之间通过数个均匀分布的紊流片连接，所述紊流片具有一定扭曲角度。该用于滤光片镀膜装置在使用时，将其罩在蒸镀源上，当蒸镀源挥发出的蒸发物通过该紊流筒时，紊流片会改变蒸发物的流动方向，相当于对蒸发物进行螺旋搅拌，这样就能使流过该紊流筒的蒸发物更加的均匀，进而使滤光片上的镀膜厚度一致。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 滤光 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种用于滤光片镀膜的装置，其特征在于：其包括一外筒和一内筒，所述内筒位于所述外筒内，所述外筒与所述内筒同轴设置，所述外筒与所述内筒之间通过数个均匀分布的紊流片连接，所述紊流片具有一定扭曲角度。
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