[实用新型]一种基板具有单向阀的压电振子有效
申请号: | 201420621801.5 | 申请日: | 2014-10-22 |
公开(公告)号: | CN204119186U | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 吴越;王旭;董景石;杨阳;刘维帅;杨志刚 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19 |
代理公司: | 长春市四环专利事务所(普通合伙) 22103 | 代理人: | 郭耀辉 |
地址: | 130012 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种基板具有单向阀的压电振子,包括:弹性基板、压电陶瓷和弹性表层,其特点在于还包括至少一个弹性阀开口,弹性基板与压电陶瓷粘接,弹性基板上布置至少一个弹性基板孔,且弹性基板表面布置有弹性表层,弹性表层上布置对应弹性基板孔的弹性悬臂,弹性基板孔和弹性悬臂配合形成弹性阀开口,弹性表层与弹性基板对应位置处开有安装槽,压电振子在交变电压的作用下发生往复弯曲振动,弹性阀开口在两侧压差的作用下开启或关闭,在具有结构、工艺简单,精度容易保证,效率更高等优点的同时,可以提高闭合状态下阀的截止性,增加开启状态下阀的开度减小工作流阻。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 单向阀 压电 | ||
【主权项】:
一种基板具有单向阀的压电振子,包括:弹性基板(1)、压电陶瓷(2)和弹性表层(3),其特点在于还包括至少一个弹性阀开口(4),其中:弹性基板(1)上与压电陶瓷(2)粘接一侧的表面为粘接面(13),所述粘接面(13)分为压电陶瓷粘接区(131)和弹性表层粘接区(132),所述弹性基板(1)上布置有至少一个弹性基板孔(11),在所述弹性表层粘接区(132)外边缘布置第一安装槽(12);所述压电陶瓷(2)为薄片形结构,粘接在弹性基板(1)上的压电陶瓷粘接区(131)上;所述弹性表层粘接区(132)布置有弹性表层(3),在所述弹性表层(3)上与弹性基板孔(11)对应位置处布置弹性悬臂(31),所述弹性悬臂(31)是在弹性表层(3)上布置U型开口(33)而形成,所述弹性悬臂(31)面积大于弹性基板孔(11)的面积,且所述弹性基板孔(11)在弹性表层(3)的投影区域包络在弹性悬臂(31)边缘内侧;所述弹性悬臂(31)与弹性基板孔(11)配合后形成弹性阀开口(4)。
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