[实用新型]一种湿法刻蚀装置有效
| 申请号： | 201420593668.7 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN204138821U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 胡春周 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种湿法刻蚀装置，所述装置至少包括：腐蚀槽以及至少两个过滤器；所述腐蚀槽与每个过滤器通过第一、第二管道连接；所述第一、第二管道上分别对应设有第一、第二阀门；所述第一阀门与所述过滤器之间设有与所述第一管道相通的进液管；所述第二阀门与所述过滤器之间设有与所述第二管道相通的出液管。本实用新型的湿法刻蚀装置通过增加连接在腐蚀槽上的过滤器使得湿法清洗过程与清洗过滤器的过程互不影响，清洗过滤器时不会对腐蚀槽造成侵蚀，延长腐蚀槽的使用寿命；同时不用拆卸清洗装置即可将过滤器中的杂质清除，提高过滤器清洗效率,从而降低腐蚀槽内杂质含量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种湿法刻蚀装置，其特征在于，所述装置至少包括：腐蚀槽以及至少两个过滤器；所述腐蚀槽与每个过滤器通过第一、第二管道连接；所述第一、第二管道上分别对应设有第一、第二阀门；所述第一阀门与所述过滤器之间设有与所述第一管道相通的进液管；所述第二阀门与所述过滤器之间设有与所述第二管道相通的出液管。
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