[实用新型]一种循环清洗槽有效
| 申请号： | 201420561966.8 | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN204167273U | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 郑淑刚;李朝;赵爱爽 | 申请（专利权）人： | 晶澳太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B08B3/08;B08B11/00 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型一种循环清洗槽，包括槽体、循环管道、循环泵和回流管道，槽体内装有清洗晶体硅片用的介质，循环管道连通槽体和处于槽体外部的循环泵，循环泵还连通回流管道，回流管道重新接入槽体内，实现槽体内的介质循环；槽体的顶部还设有带阀门的入口管道，入口管道将介质液源和槽体连通；循环管道从槽体内部延伸到槽体顶部，在槽体顶部分出后延伸向循环泵并与循环泵连接，入口管道在槽体的顶部连接到循环管道中，形成入口管道和循环管道的一体式结构；该结构利用入口管道的主动注液功能和液体的虹吸原理，将槽体内的介质引流至循环泵，使介质不通过重力直接进入循环管道，解决了介质进入循环管道时压力过大破坏循环管道和槽体的焊接部位的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 循环 清洗 | ||
【主权项】：
一种循环清洗槽，包括槽体、循环管道、循环泵和回流管道，槽体内装有清洗晶体硅片用的介质，循环管道连通槽体和处于槽体外部的循环泵的入口端，循环泵的出口端连通回流管道，回流管道重新接入槽体内，实现槽体内的介质的循环；槽体的顶部还设有带阀门的入口管道，入口管道将介质液源和槽体连通；其特征在于：循环管道从槽体内部延伸到槽体顶部，在槽体顶部分出后延伸向循环泵并与循环泵连接，入口管道在槽体的顶部连接到循环管道中，形成入口管道和循环管道的一体式结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
