[实用新型]用于纳米压印复合模板的复制装置有效
| 申请号： | 201420560206.5 | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN204129433U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y10/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 魏亮芳 |
| 地址： | 215513 江苏省苏州市常熟市常熟*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于纳米压印复合模板的复制装置，其包括第一对接单元和第二对接单元，其之间通过导向机构形成对合，且该第一对接单元和第二对接单元之间在对合后形成腔体。本实用新型相比于现有技术，其首先精简了结构的设置，使得制造成本得以降低；同时其复制过程简单，只需要向腔体内注入缓冲层即可，复制速度也得以提高；最后，通过设置导向机构，提高了复制的平整度，使得本实用新型无论相较于其他复制装置还是导向机构本身的作用，都取得了意想不到的技术效果，从而可以实现复合模板对微纳结构图案的高精度且高保真度的复制。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 纳米 压印 复合 模板 复制 装置 | ||
【主权项】：
用于纳米压印复合模板的复制装置，其特征在于，包括第一对接单元和第二对接单元，其之间通过导向机构形成对合，且所述第一对接单元和所述第二对接单元之间在对合后形成腔体。
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