[实用新型]清洗喷射装置有效
| 申请号： | 201420553337.0 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN204208853U | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 张磊;张明 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种清洗喷射装置，该清洗喷射装置包括喷射臂、喷射梁以及喷嘴；所述喷射臂中设有第一液体通道和第一气体通道；所述喷射梁的一端与所述喷射臂的一端相连，所述喷射梁中设有第二液体通道和第二气体通道，所述第二液体通道与所述第一液体通道相连，所述第二气体通道与所述第一气体通道相连，所述喷射梁上还设有与所述第二液体通道和第二气体通道均相连的喷射口，所述喷嘴设置在所述喷射口上。本实用新型提供的清洗喷射装置，在喷射臂和喷射梁上集合了液体通道和气体通道，在喷射梁上设置喷嘴，能够减少清洗工艺腔室的喷射梁机构数量，简化清洗工艺腔室的布局。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 喷射 装置 | ||
【主权项】：
一种清洗喷射装置，其特征在于，包括喷射臂、喷射梁以及喷嘴； 所述喷射臂中设有第一液体通道和第一气体通道； 所述喷射梁的一端与所述喷射臂的一端相连，所述喷射梁中设有第二液体通道和第二气体通道，所述第二液体通道与所述第一液体通道相连，所述第二气体通道与所述第一气体通道相连，所述喷射梁上还设有与所述第二液体通道和第二气体通道均相连的喷射口，所述喷嘴设置在所述喷射口上。
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