[实用新型]泡生法蓝宝石单晶生长炉保温侧屏有效
申请号: | 201420525502.1 | 申请日: | 2014-09-15 |
公开(公告)号: | CN204138819U | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 陈贵锋;阎立群;徐建民;孟凡义;张浩恩;张辉 | 申请(专利权)人: | 同方国芯电子股份有限公司;河北工业大学 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B17/00 |
代理公司: | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人: | 张云和 |
地址: | 064100 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型涉及泡生法蓝宝石单晶生长炉,尤其涉及一种泡生法蓝宝石单晶生长炉保温侧屏。该保温侧屏设置于加热器和不锈钢钢外壳之间,保温侧屏包括内层钨屏和外层氧化锆纤维保温砖层。这种保温侧屏的设计,使得系统具有更轻的质量,更好的保温效果,晶体中的轴向和径向温度梯度减小,同时减小了晶体中的热应力和位错密度,达到减小功耗,提高晶体质量的作用。 | ||
搜索关键词: | 泡生法 蓝宝石 生长 保温 | ||
【主权项】:
一种泡生法蓝宝石单晶生长炉保温侧屏,设置于加热器和不锈钢钢外壳之间,其特征是,保温侧屏内层为钨屏,外层为氧化锆纤维保温砖层。
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