[实用新型]一种等离子体多波长杂质光谱监测装置

摘要

本实用新型公开了一种等离子体多波长杂质光谱监测装置。由集光镜头，多波长分光器，采集系统，光谱仪构成。本实用新型利用体布拉格光栅的衍射特点，仅使用单束光纤即可同时满足多条杂质谱线的监测需求，剩余的光能量由光谱仪做进一步的宽谱段谱线分析。同时，光谱仪为体布拉格光栅的装配提供参考。由体布拉格光栅分离出来的单波长杂质线谱采用光电探测器实现快时间响应的谱线强度监测；由光谱仪实现慢时间响应的宽波段杂质谱线监测，可很好的满足等离子体杂质谱线研究的不同需求。

主权项

一种等离子体多波长杂质光谱监测装置，其特征在于：包括有集光镜头、多波长分光系统、光谱仪、采集系统，所述多波长分光系统由入射光耦合镜头、出射光耦合镜头、多组体布拉格光栅、多组采集用耦合镜头构成，多组体布拉格光栅设置在入射光耦合镜头与出射光耦合镜头之间，且入射光耦合镜头、出射光耦合镜头、多组体布拉格光栅沿一字排列，多组采集用耦合镜头一一对应设置在多组体布拉格光栅的衍射光偏转光路上，所述集光镜头通过导光光纤耦合至多波长分光系统中入射光耦合镜头，所述光谱仪通过导光光纤与多波长分光系统中出射光耦合镜头耦合，所述采集系统电连接有多组光电探测器，且多组光电探测器一一对应与多组采集用耦合镜头耦合。