[实用新型]一种光学系统波像差测量装置有效
| 申请号： | 201420429293.0 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN204008073U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 卢增雄;齐月静;苏佳妮;杨光华;周翊;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学系统波像差测量装置，装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克-哈特曼波前传感器，线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；1/2波片用于将线偏振平面波转换后成为s偏振平面波；偏振分光棱镜用于将经1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射来自1/4波片透射的p偏振光；1/4波片用于将来自偏振分光棱镜的s偏振平面波转换成为圆偏振平面波，以及将由来自反射装置的圆偏振平面波转换成为p偏振平面波；反射装置用于使来自1/4波片的圆偏振平面沿原路返回；夏克-哈特曼波前传感器则用于测量入射到其上的p偏振光的波像差。本实用新型可以实现各种复杂光学系统波像差的高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学系统 波像差 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种光学系统波像差测量装置，用于测量有限共轭光学系统的波像差，其特征在于，该测量装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、第二准直镜、球面反射镜以及夏克‑哈特曼波前传感器，其中，所述线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；所述1/2波片用于将所述线偏振平面波转换后成为s偏振平面波；所述偏振分光棱镜用于将经所述1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射来自所述1/4波片透射的p偏振光；所述1/4波片用于将来自所述偏振分光棱镜的s偏振平面波转换成为圆偏振平面波，以及将由来自所述反射装置的圆偏振平面波转换成为p偏振平面波；所述第二准直镜位于所述有限共轭光学系统与所述1/4波片之间，该第二准直镜的焦点和所述有限共轭光学系统的前焦点重合；所述球面反射镜的曲率中心与所述有限共轭光学系统的后焦点重合，所述球面反射镜和所述有限共轭光学系统组成反射装置，所述反射装置用于使来自1/4波片的圆偏振平面沿原路返回；所述夏克‑哈特曼波前传感器则用于测量入射到其上的p偏振光的波像差。
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