[实用新型]一种半导体芯片测试探针台有效
申请号: | 201420329686.4 | 申请日: | 2014-06-19 |
公开(公告)号: | CN203909100U | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | 高新华 | 申请(专利权)人: | 高新华 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 侯蔚寰 |
地址: | 343905 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型涉及测试设备领域,具体的说是涉及一种半导体芯片测试探针台,它包括探针台主体、探针和打点器、显微镜组件,所述探针台主体包括底座、承片台、探针和打点器安装盘、显微镜支架,移动机构安装在底座上,所述探针台主体还包括片台移动手柄、片台高度手柄、片台转动手轮,所述片台移动手柄安装于底座右边上,并与承片台上的轴承连接,所述片台高度手柄、片台转动手轮设置有底座的左侧,所述片台高度手柄与承片台的底板连接,通过旋转片台高度手柄控制承片台的升降,所述片台转动手轮连接在承片台的左侧轴承上,控制承片台旋转。 | ||
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【主权项】:
一种半导体芯片测试探针台, 它包括探针台主体(10)、探针和打点器(11)、显微镜组件(12),所述探针台主体包括底座(20)、承片台(21)、探针和打点器安装盘(23)、显微镜支架(24),移动机构安装在底座(20)上,其特征在于:所述探针台主体还包括片台移动手柄(22)、片台高度手柄(25)、片台转动手轮(26),所述片台移动手柄(22)安装于底座(20)右边上,并与承片台(21)上的轴承连接,所述片台高度手柄(25)、片台转动手轮(26)设置有底座(20)的左侧,所述片台高度手柄(25)与承片台(21)的底板连接,通过旋转片台高度手柄(25)控制承片台(21)的升降,所述片台转动手轮(26)连接在承片台(21)的左侧轴承上,控制承片台(21)旋转。
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