[实用新型]一体式半自动化扫描探针显微镜

摘要

本实用新型公开了一种一体式半自动化扫描探针显微镜，包括隔音箱和显微镜主体，显微镜主体包括底座样品台，底座样品台的内部设置有二维移动架和扫描器，扫描器的上端延伸出底座样品台的上表面；扫描器的上方设置有扫描探头，扫描探头内设置有激光检测装置，扫描探头的下方设有探针架，扫描探头固定在探头升降装置上，探头升降装置设在底座样品台的一侧，扫描探头的上方设置有CCD摄像头，CCD摄像头固定在CCD升降装置上。本实用新型的扫描探针显微镜扫描探头与底座上样品台上的扫描器在结构上相互独立，且可任意调节扫描探头与扫描器的间隔大小，进而可在扫描器上放置任意尺寸的样品，具有更广的适用范围，且自动化控制程度高。

主权项

一种一体式半自动化扫描探针显微镜，包括隔音箱(1)，所述隔音箱(1)内设置有用于放置显微镜主体的型腔，其特征在于：所述显微镜主体包括设置在所述型腔下方的底座样品台(4)，所述底座样品台(4)的内部设置有二维移动架(6)和用于放置样品的扫描器(5)，所述扫描器(5)的上端延伸出所述底座样品台(4)的上表面，且所述底座样品台(4)的上表面设置有供所述扫描器(5)水平移动的通孔(40)；所述扫描器(5)的上方设置有扫描探头(8)，所述扫描探头(8)内设置有激光检测装置，所述扫描探头(8)的下方设有用于将探针定位的探针架(7)，所述扫描探头(8)固定在用于驱动所述扫描探头(8)上下运动的探头升降装置(9)上，所述探头升降装置(9)设置在所述底座样品台(4)的一侧，所述扫描探头(8)的上方设置有CCD摄像头(10)，所述CCD摄像头(10)固定在CCD升降装置(12)上。