[实用新型]一种超声波清洗设备有效
| 申请号： | 201420265513.0 | 申请日： | 2014-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN203900017U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 杨志忠 | 申请（专利权）人： | 无锡妤卓兰科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云;张宁 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种超声波清洗设备，包括依次设置的上料输送装置、超声波清洗装置、风刀干燥装置及下料输送装置，超声波清洗装置、风刀干燥装置、上料输送装置及下料输送装置的上方对应设有机械臂动作装置，上料输送装置、超声波清洗装置、风刀干燥装置、下料输送装置及机械臂动作装置分别与电控柜控制连接。在电控柜的控制作用下，装载有多晶硅片的料筐放置在输送线上，经过上料输送装置到指定位置，此时机械臂动作装置固持料筐依次经过超声波清洗装置完成清洗工序及风刀干燥装置完成风切干燥工序，最后放置在下料输送装置上送出。该超声波清洗设备适用于多晶硅片的清洗，提高了清洗过程的自动化程度，生产效率较高，清洗质量较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种超声波清洗设备，其特征在于，包括依次设置的上料输送装置、超声波清洗装置、风刀干燥装置及下料输送装置，所述超声波清洗装置、所述风刀干燥装置、所述上料输送装置及所述下料输送装置的上方对应设有机械臂动作装置，所述上料输送装置、超声波清洗装置、风刀干燥装置、下料输送装置及机械臂动作装置分别与电控柜控制连接。
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