[实用新型]一种用于直流弧放电高密度等离子体发生装置的冷却板有效
| 申请号： | 201420180803.5 | 申请日： | 2014-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN204335131U | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 芶富均 | 申请（专利权）人： | 芶富均 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H05K7/20 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 550000 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于直流弧放电高密度等离子体发生装置的冷却板，该冷却板由一个钼柱镶嵌于铜板中构成，钼柱的中心区域加工有等离子体通道孔，铜板外圆柱面上加工有环形凹槽，等离子体通道孔布于冷却板中心轴线上，冷却管上设有一进水口和一出水口。本实用新型不仅能自由叠加组合，而且能有效增大薄膜沉积面积、提高薄膜沉积效率，也能有效减小离子源的空间尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 直流 放电 高密度 等离子体 发生 装置 冷却 | ||
【主权项】：
一种用于直流弧放电高密度等离子体发生装置的冷却板，其上设有环形冷却管（3），其特征在于：所述冷却板由一个钼柱镶嵌于铜板中构成，钼柱的中心区域加工有等离子体通道孔（201），外圆柱面上加工有环形凹槽（101），用于放置环形冷却管（3）；等离子体通道孔（201）沿铜板中心通过，环形冷却管（3）上设有一进水口（302）和一出水口（301）。
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