[实用新型]镀膜充气装置有效
| 申请号： | 201420160843.3 | 申请日： | 2014-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN203890437U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 郑芳平;张迅;易伟华 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 338004 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种镀膜充气装置，包括主气管及第一充气管；所述主气管为长条形管状结构，所述主气管上开设有多个第一出气孔，多个所述第一出气孔沿所述主气管的轴向间隔排列，所述主气管的侧壁上还沿其轴向均匀分布有多个第一充气孔；所述第一充气管包括主充气管及由所述主充气管一端分叉形成的多个支管，多个所述支管分别通过多个第一充气孔与所述主气管内部相导通。在主气管上均匀分布有多个第一充气孔，第一充气管通过多个第一充气孔对主气管进行充气，可以使主气管内气体的浓度均匀分布，进而使得镀膜工艺更加均匀，提高了镀膜产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 充气 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜充气装置，其特征在于，包括：主气管，为长条形管状结构，所述主气管上开设有多个第一出气孔，多个所述第一出气孔沿所述主气管的轴向间隔排列，所述主气管的侧壁上还沿其轴向均匀分布有多个第一充气孔；及第一充气管，所述第一充气管包括主充气管及由所述主充气管一端分叉形成的多个支管，多个所述支管分别通过多个第一充气孔与所述主气管内部相导通。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
