[实用新型]一种模拟深空环境中电子器件实验的装置有效
| 申请号： | 201420154464.3 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN203786224U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 曹江利;李云双;姚文清;严楷 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及了一种用于深空环境中电子元器件实验的模拟装置，尤其涉及超高真空度的深空空间环境，包括真空控制系统、温度控制系统、直流电场控制系统、紫外线辐照控制系统以及气氛控制系统，本实用新型针对深空环境实现超高真空，真空度可达10-8Pa，氘灯波长范围为160~400nm，吻合深空环境紫外线参数，直流电场可控稳定，本实用新型能够更真实地模拟深空环境中电接触材料及器件工作时受到的单一或耦合作用影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模拟 环境 电子器件 实验 装置 | ||
【主权项】：
一种模拟深空环境中电子器件实验的装置，包括一个真空腔体（1），其特征在于，所述真空腔体（1）内部设有样品台（4），所述样品台（4）设置有加热元件及固定元件，样品台（4）固定在真空腔体（1）侧壁的样品法兰口（5）上；所述真空腔体（1）内部顶端设有氘灯（3），同时真空腔体（1）顶部设有温度控制接口，真空腔体（1）具有样品法兰口（5）的一侧下部依次设有直流电场控制接口与气氛控制接口，真空腔体（1）另一侧设有真空控制接口与真空规（17），底部设有真空管道（18）；其中温度控制接口依次连接加热变压器（11）与温度控制显示器（12），直流电场控制接口连接直流电场控制器（6），气氛控制接口连接气氛瓶（8），真空控制接口依次连接分子泵（14）与机械泵（15），真空管道（18）连接由溅射离子泵和钛升华泵构成的组合泵（19）。
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