[实用新型]高纯砷生产还原反应器有效
申请号: | 201420136464.0 | 申请日: | 2014-03-25 |
公开(公告)号: | CN203782210U | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 李显坪;陈琦;刘彩玫;潘晋;高义;李金 | 申请(专利权)人: | 扬州中天利新材料股份有限公司 |
主分类号: | C22B30/04 | 分类号: | C22B30/04;C22B5/16 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人: | 秦关华 |
地址: | 225123 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 高纯砷生产还原反应器,涉及一种半导体基础材料高纯砷的上产用还原反应设备。包括升华段、反应段、产品段,所述升华段、反应段、产品段依次密封连接且相互连通,升华段的开始端设置进气口,在产品段的末端设置出气口,出气口通过管道连接至尾气瓶,升华段、反应段、产品段分别包括炉体,在各炉体外分别由内而外设置炉瓦、保温层,在炉瓦内设置炉丝,在相邻两个炉体的连接处分别设置活动保温套,在升华段的炉体内设置三氧化二铝陶瓷舟,在产品段炉体的内壁上设置石英瓦,在反应段的炉体内设置螺旋设置的盘管反应器。通过在反应段设置螺旋石英盘管,使得反应形成边长,还原反应更为充分,可有效保障还原转化率,使得白砷全部还原成单质砷。 | ||
搜索关键词: | 高纯 生产 还原 反应器 | ||
【主权项】:
高纯砷生产还原反应器,其特征在于包括升华段、反应段、产品段,所述升华段、反应段、产品段依次密封连接且相互连通,所述升华段的开始端设置进气口,在所述产品段的末端设置出气口,所述出气口通过管道连接至尾气瓶,所述升华段、反应段、产品段分别包括炉体,在所述各炉体外分别由内而外设置炉瓦、保温层,在所述炉瓦内设置炉丝,在所述相邻两个炉体的连接处分别设置活动保温套,在所述升华段的炉体内设置三氧化二铝陶瓷舟,在所述产品段炉体的内壁上设置石英瓦,在所述反应段的炉体内设置螺旋设置的盘管反应器。
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