[实用新型]一种用于密封石英管的改进型石英管帽有效
| 申请号： | 201420121657.9 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN203839354U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 左亚兵;王钰庭;周敏华 | 申请（专利权）人： | 宜兴市环洲微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 214200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于密封石英管的改进型石英管帽，包括石英管帽本体（1），石英管帽本体（1）上的外表面上设有石英手把（2），其特征在于所述石英管帽本体（1）的内表面呈平面状态使得石英管帽本体（1）的内表面与石英管（4）的管口平面全接触；所述的石英手把（2）上设有压紧弹簧（5），该压紧弹簧（5）使得石英管帽本体（1）的内表面与石英管（4）的管口平面相互贴合。本实用新型通过将石英管帽与石英管的接触方式改为平面接触，并采用压紧弹簧将石英管帽压紧在石英管的端面上起到密封作用，使得石英管帽与石英管的分离更容易；具有结构简单、操作方便且密封性好的特点，提高了工作效率，适宜在半导体硅片生产中推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 密封 石英管 改进型 | ||
【主权项】：
一种用于密封石英管的改进型石英管帽，包括石英管帽本体（1），石英管帽本体（1）上的外表面上设有石英手把（2），其特征在于所述石英管帽本体（1）的内表面呈平面状态使得石英管帽本体（1）的内表面与石英管（4）的管口平面全接触；所述的石英手把（2）上设有压紧弹簧（5），该压紧弹簧（5）使得石英管帽本体（1）的内表面与石英管（4）的管口平面相互贴合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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