[实用新型]微纳级电磁栅尺及其制造装置及位移检测系统

摘要

本实用新型是一种微纳级电磁栅尺及其制造装置及位移检测系统。本实用新型的微纳级电磁栅尺是基于电感效应的微纳级电磁栅尺，通过电磁传感器利用电磁感应原理将被测非电量（如位移、压力、流量、振动等）转换成线圈自感系数L或互感系数M的变化，再经过测量电路转换为相应电压或电流的变化量输出，从而实现非电量到电量的转换和测量。本实用新型微纳级电磁栅尺制造方法是基于近场电纺直写技术，设计加工简单易操作，便于大规模制造，得到的栅线平行度好，且刻线均匀。本实用新型微纳级电磁栅尺的制造装置，是近场电纺直写设备，具有良好的自动控制性能。本实用新型的位移检测系统，利用钨针作为探头，用脉冲技术进行计数，计数准确，检测精度高。

主权项

一种微纳级电磁栅尺，其特征在于包括有不导电基板、联通电纺导电纳米纤维线、不导电有机聚合物薄膜，在不导电基板上沉积有规则排列的联通电纺导电纳米纤维线，这些联通导电纳米纤维线作为电纺电磁栅刻线，且在沉积有规则排列的联通导电纳米纤维线的基板面上覆盖一层不导电有机聚合物薄膜，不导电有机聚合物薄膜可以保护电纺电磁栅刻线。