[实用新型]一种弥散式多区域压力控制抛光夹具有效
| 申请号： | 201420101384.1 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203696672U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 赵惠英;杨和清;王文博;于贺春;张国庆;张楚鹏;周国强;何鑫 | 申请（专利权）人： | 北京微纳精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B24B13/005 | 分类号： | B24B13/005 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 100102 北京市朝阳区望京新*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种弥散式多区域压力控制抛光夹具，包括基座，所述基座的底部设有压力区域调节膜与若干凹槽，凹槽与压力区域调节膜之间形成封闭腔，压力区域调节膜设有晶体，基座上设有固定板，晶体的两侧设有晶体固定板，晶体固定板与固定板通过连接板连接，固定板与晶体连接，基座的顶部开设有压力表安装孔、压力控制阀安装孔以及单向阀安装孔，压力表安装孔、压力控制阀安装孔以及单向阀安装孔分别与凹槽对应。本实用新型通过精确调整各个凹槽区域压力对晶体背面进行差压控制；通过精确调整不同区域压力来调节晶体表面材料去除量，提高晶体整个表面的面形精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弥散 区域 压力 控制 抛光 夹具 | ||
【主权项】：
一种弥散式多区域压力控制抛光夹具，包括基座，其特征在于：所述基座的底部设有压力区域调节膜与若干凹槽，凹槽与压力区域调节膜之间形成封闭腔，压力区域调节膜设有晶体，基座上设有固定板，晶体的两侧设有晶体固定板，晶体固定板与固定板通过连接板连接，固定板与晶体连接，基座的顶部开设有压力表安装孔、压力控制阀安装孔以及单向阀安装孔，压力表安装孔、压力控制阀安装孔以及单向阀安装孔分别与凹槽对应。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京微纳精密机械有限公司，未经北京微纳精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420101384.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种单晶炉热场清理工作台
- 下一篇：玻璃磨边机倒角磨削主轴防水装置
