[实用新型]工艺腔室有效
| 申请号： | 201420074409.3 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN203721674U | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 吴晓晶;程嘉;季林红;侯悦民 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种工艺腔室，包括：壳体，所述壳体的顶壁设有喷嘴；和多个导向叶片，所述多个导向叶片设在所述壳体的内周壁上且所述多个导向叶片沿所述壳体的周向均匀间隔布置。根据本实用新型的工艺腔室，工艺气体从喷嘴进入壳体内后，经多个导向叶片引导，可以形成均匀的气体流场，结构简单、加工难度较低，能够利用简单的结构满足整流、控制流速的作用，同时不会造成明显的流动阻力，避免损失。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 | ||
【主权项】：
一种工艺腔室，其特征在于，包括：壳体，所述壳体的顶壁设有喷嘴；和多个导向叶片，所述多个导向叶片设在所述壳体的内周壁上且所述多个导向叶片沿所述壳体的周向均匀间隔布置。
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