[实用新型]一种水冷式双压电变形镜有效
| 申请号： | 201420010286.7 | 申请日： | 2014-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN203705723U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 张凯;徐宏来;雒仲祥;何忠武;李国会;关有光;杨媛;杜应磊;向汝建 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 卿诚;吴彦峰 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种水冷式双压电变形镜，包括水冷式双压电变形镜主体和水冷式双压电变形镜镜架，所述的水冷式双压电变形镜主体设置于水冷式双压电变形镜镜架内，水冷式双压电变形镜包括反射镜一、反射镜二、压电晶片一、压电晶片二、电极引线、变形镜支撑件、微通道一；水冷式双压电变形镜镜架包括前盖板、后盖板和微通道二，镜架前盖板上设置的微通道二与反射镜二上的微通道一一对应，通水后，通过流水带走反射镜一外表面上的热量，即可实现变形镜的水冷功能；通过采用主动冷却控制技术，实现了强光系统中校正激光束像差的功能，该变形镜可拟合不同类型的像差，波前校正空间分辨率高，结构简单，成本低、工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水冷 压电 变形 | ||
【主权项】：
一种水冷式双压电变形镜，其特征在于：包括水冷式双压电变形镜主体和水冷式双压电变形镜镜架，所述的水冷式双压电变形镜主体设置于水冷式双压电变形镜镜架内；水冷式双压电变形镜主体包括反射镜一、反射镜二、压电晶片一、压电晶片二、电极引线、变形镜支撑件；所述反射镜一的背面与反射镜二的正面相粘接，反射镜二的背面与压电晶片一的正极面相粘接，压电晶片一和压电晶片二的负极面相粘接，变形镜支撑件的一面与反射镜二的背面固联；电极引线的一端从压电晶片一、压电晶片二的各个电极引出；水冷式双压电变形镜镜架，包括前盖板和后盖板，所述后盖板上设置有一个进水口，一个出水口。
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