[发明专利]一种用于检测光学元件弱吸收的装置及方法在审
申请号: | 201410853727.4 | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN104502068A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 郝明明;汪丽娜;路国光;黄云;恩云飞;岳龙 | 申请(专利权)人: | 工业和信息化部电子第五研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 谢伟 |
地址: | 510610广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于检测光学元件弱吸收的装置及方法,所述装置包括探测激光器、光电接收器,设置在探测激光器与光电接收器之间的第一分光元件、反射镜、第二分光元件。第一分光元件、反射镜、第二分光元件、光学元件围成平行四边形,且依次处于平行四边形的顶点。其还包括产生激励光的激励结构,光学元件表面与激励结构相对设置。相对于现有技术采用的表面热透镜技术,由于光学元件在热作用下变形很小,使得光变化信号很微弱,导致有用的光信号淹没在噪声中,而本发明由于第二激光束与第三激光束间产生的干涉图样较为明显,通过干涉图样来分析光学元件的弱吸收,其检测灵敏度更好,且本发明所述的光学元件的弱吸收装置结构也颇为简单,性价比高。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 检测 光学 元件 吸收 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种用于检测光学元件弱吸收的装置,其特征在于,包括探测激光器、光电接收器,设置在所述探测激光器与所述光电接收器之间的第一分光元件、反射镜、第二分光元件,所述第一分光元件、第二分光元件、反射镜与光学元件处于同一平面;所述第一分光元件、反射镜、第二分光元件、光学元件围成平行四边形,且依次处于平行四边形的四个顶点;还包括用于产生激励光的激励结构,所述光学元件的表面与所述激励结构相对设置。
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