[发明专利]一种电容式触控面板及制作方法在审
申请号: | 201410849543.0 | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN104503644A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 黄亮;余汉水;刘锡钢;陈凯;孙伟杰;蒋蔚 | 申请(专利权)人: | 深圳力合光电传感股份有限公司 |
主分类号: | G06F3/044 | 分类号: | G06F3/044 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所44237 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 518000广东省深圳市光明新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明适用于触控技术领域,提供了一种电容式触控面板的制作方法,包括:在玻璃基板上依次设置SiO2膜层及透明导电膜;在透明导电膜之上制作感光胶图案;通过感光胶图案刻蚀透明导电膜形成透明电极,并保留感光胶图案;在感光胶图案和SiO2膜层之上设置过渡层;去除感光胶图案和表面的过渡层,保留SiO2膜层上的过渡层;向透明电极图案和过渡层上镀Cu膜或Cu合金膜,并刻蚀Cu膜或Cu合金膜,在透明电极图案的周围形成Cu导线。本发明中的Cu导线和SiO2膜层之间由过渡层隔离,防止了Cu元素向SiO2膜层扩散,进而防止透明电极的微短路,克服了Cu材料无法用于玻璃基板上的问题,降低了成本,提升了产能及良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 电容 式触控 面板 制作方法 | ||
【主权项】:
一种电容式触控面板的制作方法,其特征在于,包括下述步骤:在玻璃基板上依次设置SiO2膜层及透明导电膜;在所述透明导电膜之上制作感光胶图案;通过所述感光胶图案刻蚀所述透明导电膜,形成透明电极图案,并保留所述感光胶图案;在所述感光胶图案和露出的SiO2膜层之上设置过渡层;去除所述感光胶图案和感光胶图案表面的过渡层,保留其他区域的过渡层;向所述透明电极图案和过渡层上镀Cu膜或Cu合金膜,并刻蚀所述Cu膜或Cu合金膜,在所述透明电极图案的周围形成与其连接的Cu导线或Cu合金导线。
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