[发明专利]SrTiO3单晶电阻开关器件的制备方法在审
| 申请号： | 201410839802.1 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104538549A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 廖霞霞;王惠琼;王吉政;郑金成 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙)35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | SrTiO3单晶电阻开关器件的制备方法，涉及电阻开关器件。将未掺杂的SrTiO3单晶片清洗后放入石英玻璃管中，然后将石英玻璃管中的空气用氩气置换后密封；将获得的封装好的含有SrTiO3单晶片的石英玻璃管加热后，取出，冷却至室温，敲碎石英玻璃管即得高温退火后的SrTiO3单晶片；将高温退火后的SrTiO3单晶片镀金电极，取出后在SrTiO3单晶片的另一面滴上银胶，成为银电极，完成SrTiO3单晶电阻开关器件的制备。制备方法简单，易于操作，封装好的SrTiO3单晶片可直接在空气中加热。退火后的SrTiO3单晶片表面出现了丝状导电通电，不需要经过电铸过程就可以实现SrTiO3单晶片的开关性能。 | ||
| 搜索关键词： | srtio3 电阻 开关 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
SrTiO3单晶电阻开关器件的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1)将未掺杂的SrTiO3单晶片清洗后放入石英玻璃管中，然后将石英玻璃管中的空气用氩气置换后密封；2)将步骤1)中获得的封装好的含有SrTiO3单晶片的石英玻璃管加热后，取出，冷却至室温，敲碎石英玻璃管即得高温退火后的SrTiO3单晶片；3)将步骤2)中高温退火后的SrTiO3单晶片镀金电极，取出后在SrTiO3单晶片的另一面滴上银胶，成为银电极，完成SrTiO3单晶电阻开关器件的制备。
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