[发明专利]用于校正激光脉冲的方法和装置在审
| 申请号： | 201410830679.7 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104741780A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 金贤中;方勇植;朴建植;池昊真 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 马雯雯,臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道华城市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种校正激光脉冲的方法和用于校正激光脉冲的装置。校正激光脉冲的方法包含以下过程测量个别激光脉冲，其中测量从多个激光光源射出且由每一个别衰减器进行强度调节的所述个别激光脉冲的峰值；控制每一衰减器的入射角，其中在所测量的个别激光脉冲的所述峰值处于预先设置的个别误差范围之外时调节指派给处于误差范围之外的激光光源的个别衰减器的所述入射角；以及重复所述测量所述个别激光脉冲的过程和所述控制个别衰减器的所述入射角的过程，直到所测量的个别激光脉冲的所述峰值处于预先设置的个别误差范围内为止。通过校正每一激光光源的脉冲波形的变化，可防止工艺中的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 校正 激光 脉冲 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种校正激光脉冲的方法，其特征在于，所述校正激光脉冲的方法包括以下过程：测量个别激光脉冲，其中测量从多个激光光源射出且由每一个别衰减器进行强度调节的所述个别激光脉冲的峰值；控制每一衰减器的入射角，其中在所测量的个别激光脉冲的所述峰值处于预先设置的个别误差范围之外时调节指派给处于误差范围之外的激光光源的个别衰减器的所述入射角；以及重复所述测量所述个别激光脉冲的过程和所述控制个别衰减器的所述入射角的过程，直到所测量的个别激光脉冲的所述峰值处于预先设置的个别误差范围内为止。
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