[发明专利]嵌入式晶体管有效
| 申请号： | 201410803553.0 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105374688B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 丁裕伟;蔡竣扬;黄国钦 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/336 | 分类号： | H01L21/336;H01L29/78;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于电器件(诸如，DRAM存储单元)的嵌入式晶体管及其制造方法。沟槽形成在衬底中并且栅介质和栅电极形成在衬底的沟槽内。源极/漏极区形成在位于沟槽的相对两侧的衬底中。在实施例中，源极/漏极区的一个连接至存储节点而源极/漏极区的另一个连接至位线。在本实施例中，栅电极可连接至字线以形成DRAM存储单元。可将电介质生长改性剂注入到沟槽的侧壁内以调整栅介质的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 嵌入式 晶体管 | ||
【主权项】：
1.一种制造半导体器件的方法，所述方法包括：提供具有第一组沟槽和第二组沟槽的衬底；将介电材料设置在所述第一组沟槽和所述第二组沟槽中；去除所述第二组沟槽中的所述介电材料；将电介质生长改性剂注入到第二组沟槽中的第一沟槽的第一侧壁内；以及沿着所述第二组沟槽中的第一沟槽的第一侧壁和底部形成栅极绝缘层，其中，所述栅极绝缘层沿着所述第一侧壁以不同于沿着所述底部的速率形成，使得所述栅极绝缘层沿着所述第一侧壁具有逐减的厚度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
