[发明专利]具可变电容调谐器与反馈电路的物理气相沉积

摘要

本申请提供用以在基座所支撑的晶圆上执行等离子体处理的设备及方法。该设备可包括基座、可变电容器、马达、马达控制器以及来自该可变电容器的输出，该基座上可支撑晶圆，该可变电容器具有可变的电容量，该马达附接至该可变电容器并可改变该可变电容器的电容量，该马达控制器连接至该马达以使该马达旋转，并且来自该可变电容器的输出连接至该基座。该可变电容器的期望状态与工艺控制器中的工艺方法相关。当执行该工艺方法时，该可变电容器处于该期望状态。

主权项

一种压制腔室中谐频和/或互调变乘积的方法，所述方法包括：将处于非所欲谐频和/或互调频率的等离子体电流分量从晶圆表面或靶材表面转移至除所述晶圆表面或所述靶材表面以外的等离子体反应器表面，其中通过将接地可调阻抗调谐至所述非所欲谐频和/或互调频率来将处于所述非所欲谐频和/或互调频率的等离子体电流分量转移至接地，其中将接地可调阻抗调谐至所述非所欲谐频和/或互调频率的步骤包括利用处理器控制马达以对可变电容器进行期望的设定，所述期望的设定与在所述腔室的控制器中编写的设定相关联，其中所述可变电容器通过转换器而与电压传感器或电流传感器联结，并且所述电压传感器或电流传感器决定所述可变电容器的电压输出或电流输出并提供反馈至所述处理器以控制所述马达。