[发明专利]基于RF阻抗模型的故障检测

摘要

本发明涉及基于RF阻抗模型的故障检测。描述了检测等离子体系统中的潜在故障的方法。该方法包括访问等离子体系统的一个或多个部件的模型。该方法还包括接收关于将RF功率提供给等离子体腔的数据。使用包括一个或多个状态的配置提供RF功率。该方法也包括使用数据以产生在模型输出处的模型数据。该方法包括检查模型数据。检查是指检查表征等离子体系统的等离子体过程的性能的一个或多个变量。该方法包括标识一个或多个变量的故障。该方法还包括确定故障已发生预定时间段以使故障被标识为事件。该方法包括对事件进行分类。

主权项

1.一种对事件进行分类的方法，包括：访问等离子体系统的一个或多个部件的模型，所述等离子体系统包括等离子体腔、射频发生器和在所述等离子体腔和所述射频发生器之间的传输线；接收关于将射频功率提供给所述等离子体腔的数据，所述射频功率使用包括一个或多个状态的配置经由所述传输线被提供给所述等离子体腔，所述一个或多个状态在将射频功率提供给所述等离子体腔期间连续地重复；使用所述数据在将射频功率提供给所述等离子体腔期间产生在所述模型的输出处的模型数据，所述模型数据关联于所述一个或多个状态中的一个；在所述一个或多个状态中的一个状态期间检查所述模型数据，所述检查指检查表征所述等离子体系统的等离子体过程的性能的一个或多个变量；在所述一个或多个状态中的一个状态期间标识针对所述一个或多个变量的潜在故障；在所述一个或多个状态中的一个状态期间确定所述潜在故障已发生预定的时间段，以使所述潜在故障被标识为事件；以及对所述事件进行分类。