[发明专利]批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置

摘要

本发明涉及MEMS加速度传感器的振动试验技术，具体是一种批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置。本发明解决了现有振动台夹具导致振动试验耗时长、效率低的问题。批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置，包括执行部分和控制部分；所述执行部分包括振动台延伸头、底盘、回转夹紧气缸；所述控制部分包括压力传感器、模数转换器、PLC、上位机、电磁换向阀、调压阀、气源；其中，振动台延伸头为筒状结构；振动台延伸头的上端封闭、下端设有敞口；底盘盖封于振动台延伸头的下端敞口上；回转夹紧气缸的数目为若干个；各个回转夹紧气缸的缸筒均安装于底盘的上盘面。本发明适用于MEMS加速度传感器的振动试验。

主权项

一种批量化MEMS加速度传感器自动锁紧装置，其特征在于：包括执行部分和控制部分；所述执行部分包括振动台延伸头（1）、底盘（2）、回转夹紧气缸（3）；所述控制部分包括压力传感器（4）、模数转换器（5）、PLC（6）、上位机（7）、电磁换向阀（8）、调压阀（9）、气源（10）；其中，振动台延伸头（1）为筒状结构；振动台延伸头（1）的上端封闭、下端设有敞口；底盘（2）盖封于振动台延伸头（1）的下端敞口上；回转夹紧气缸（3）的数目为若干个；各个回转夹紧气缸（3）的缸筒均安装于底盘（2）的上盘面；各个回转夹紧气缸（3）的活塞杆均活动贯穿振动台延伸头（1）的上端壁；各个回转夹紧气缸（3）的夹紧臂均与振动台延伸头（1）的上外端壁平行；压力传感器（4）的数目与回转夹紧气缸（3）的数目相等；各个压力传感器（4）一一对应安装于各个回转夹紧气缸（3）的夹紧臂的头部下侧面；模数转换器（5）的信号输入端分别与各个压力传感器（4）的信号输出端连接；PLC（6）的信号输入端与模数转换器（5）的信号输出端连接；上位机（7）与PLC（6）双向连接；电磁换向阀（8）的信号输入端与PLC（6）的信号输出端连接；电磁换向阀（8）的第一个出气口分别与各个回转夹紧气缸（3）的第一个进气口连通；电磁换向阀（8）的第二个出气口分别与各个回转夹紧气缸（3）的第二个进气口连通；调压阀（9）的出气口与电磁换向阀（8）的进气口连通；气源（10）与调压阀（9）的进气口连通。